半导体功率器件的寄生电容直接影响开关速度与损耗，TH513 半导体C-V特性分析仪正是为此设计。它把 LCR 数字电桥、栅极电压源、漏源电压源与高低压切换矩阵集成在一台仪器内，可对二极管、MOS 管、IGBT 的输入电容 Ciss、输出电容 Coss、反向传输电容 Crss 和栅极电阻 Rg 做一键测量，兼顾产线快速分选与实验室分析。
TH513 为单通道机型，测试频率 1kHz—2MHz，栅极电压 Vgs 可达 ±40V，漏源电压 Vds 最高可加 ±3000V，覆盖多数中高压功率器件的测试需要。10.1 英寸电容触摸屏可把四项寄生参数与分选结果同屏显示，无需反复切换脚位与参数；仪器用四端测量法做接触检查，引线断裂或接触不良会提示并停止测试，并针对漏源击穿设计高压保护。TH513 另配 Interlock 互锁接口，可与安全门联动，门开后自动切断高压输出。
海福瑞（武汉）科技有限公司长期代理同惠电测仪器，可为客户提供选型咨询、样机演示、安装调试与售后技术支持，帮助把功率器件电容测试融入产线或实验室流程。需要报价或安排现场演示，欢迎通过网站或电话与我们联系。
技术参数
简要参数 | TH511 | TH512 | TH513 |
通道 | 2（可扩展至6） | 2（可扩展至6） | 1 |
测试频率 | 1kHz-2MHz | ||
测试参数 | Ciss、Coss、Crss、Rg | ||
VGS范围 | 0 – ±40V | ||
VDS范围 | 0 – ±200V | 0 – ±1500V | 0 – ±3000V |
符号 | 名称 | 测试原理 | 影响 |
Ciss | 输入电容 | 漏源短接，用交流信号测得的栅极和源极之间的电容，Ciss = Cgs +Cgd | 影响延迟时间；Ciss越大，延迟时间越长 |
Coss | 输出电容 | 栅源短接，用交流信号测得的漏极和源极之间的电容，Coss = Cds +Cgd | Crss越大，漏极电流上升特性越差，这不利于MOSFET的损耗。高速驱动需要低电容。 |
Crss | 反向传输电容 | 源极接地，用交流型号测得的漏极和栅极之间的电容，也称米勒电容 反向传输电容等同于栅漏电容。Crss = Cgd | 影响关断特性和轻载时的损耗。如果Coss较大，关断dv／dt减小，这有利于噪声。但轻载时的损耗增加。 |
Rg | 栅极输入电阻 | Rg被定义漏源短接，偶尔也被定义为漏极开路 | |
产品型号 | TH511 | TH512 | TH513 | |
通道数 | 2（可选配4/6通道） | 1 | ||
显示 | 显示器 | 10.1英寸(对角线)电容触摸屏 | ||
比例 | 16:9 | |||
分辨率 | 1280×RGB×800 | |||
测量参数 | CISS、COSS、CRSS、Rg，四参数任意选择 | |||
测试频率 | 范围 | 1kHz-2MHz | ||
精度 | 0.01% | |||
分辨率 | 10mHz | 1.00000kHz-9.99999kHz | ||
100mHz | 10.0000kHz-99.9999kHz | |||
1Hz | 100.000kHz-999.999kHz | |||
10Hz | 1.00000MHz-2.00000MHz | |||
测试电平 | 电压范围 | 5mVrms-1Vrms | ||
准确度 | ±（10%×设定值+2mV） | |||
分辨率 | 1mVrms | 0.5Vrms-1Vrms | ||
10mVrms | 1Vrms-2Vrms | |||
VGS电压 | 范围 | 0 – ±40V | ||
准确度 | 1%×设定电压+8mV | |||
分辨率 | 1mV | 0V – ±10V | ||
10mV | ±10V – ±40V | |||
VDS电压 | 范围 | 0 – ±200V | 0 – ±1500V | 0 – ±3000V |
准确度 | 1%×设定电压+100mV | |||
输出阻抗 | 100Ω，±2%@1kHz | |||
数学运算 | 与标称值的绝对偏差Δ，与标称值的百分比偏差Δ% | |||
校准功能 | 开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD、夹具校准 | |||
测量平均 | 1-32次 | |||
AD转换时间（ms/次） | 快速+：2.5ms(＞5kHz) 快速：11ms, 中速：90ms 慢速：220ms | |||
最高准确度 | 0.5%（具体参考说明书） | |||
CISS、COSS、CRSS | 0.00001pF – 9.99999F | |||
Rg | 0.001mΩ – 99.9999MΩ | |||
Δ% | ±（0.000% – 999.9%） | |||
多功能参数列表扫描 | 点数 | 50点，每个点可设置平均数，每个点可单独分选 | ||
参数 | 测试频率、Vg、Vd、通道 | |||
触发模式 | 顺序SEQ：当一次触发后，在所有扫描点测量，/EOM/INDEX只输出一次 | |||
步进STEP：每次触发执行一个扫描点测量，每点均输出/EOM/INDEX，但列表扫描比较器结果只在最后的/EOM才输出 | ||||
图形扫描 | 扫描点数 | 任意点可选，最多1001点 | ||
结果显示 | 同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线 | |||
显示范围 | 实时自动、锁定 | |||
坐标标尺 | 对数、线性 | |||
扫描参数 | Vg、Vd、Freq | |||
触发方式 | 手动触发一次，从起点到终点一次扫描完成，下个触发信号启动新一次扫描 | |||
结果保存 | 图形、文件 | |||
比较器 | Bin分档 | 10Bin、PASS、FAIL | ||
Bin偏差设置 | 偏差值、百分偏差值、关 | |||
Bin模式 | 容差 | |||
Bin计数 | 0-99999 | |||
档判别 | 每档最多可设置四个参数极限范围，四个测试参数结果设档范围内显示对应档号，超出设定最大档号范围则显示FAIL，未设置上下限的测试参数自动忽略档判别 | |||
PASS/FAIL指示 | 满足Bin1-10,前面板PASS灯亮，否则FAIL灯亮 | |||
存储调用 | 内部 | 约100M非易失存储器测试设定文件 | ||
外置USB | 测试设定文件、截屏图形、记录文件 | |||
键盘锁定 | 可锁定前面板按键，其他功能待扩充 | |||
接口 | USB HOST | 2个USB HOST接口，可同时接鼠标、键盘，U盘同时只能使用一个 | ||
USB DEVICE | 通用串行总线插座，小型B类（4个接触位置）；与USB TMC-USB488和USB2.0相符合，阴接头用于连接外部控制器。 | |||
LAN | 10/100M以太网，8引脚，两种速度选择 | |||
HANDLER | 用于Bin分档信号输出 | |||
RS232C | 标准9针，交叉 | |||
RS485 | 标准差分线 | |||
GPIB | 24针D-Sub端口（D-24 类），阴接头与IEEE488.1、2和SCPI兼容 | |||
开机预热时间 | 60分钟 | |||
输入电压 | 100-120VAC/198-242VAC可选择，47-63Hz | |||
功耗 | 不小于130VA | |||
尺寸（WxHxD）mm | 430x177x405 | |||
重量 | 16kg | |||
以上参数依据同惠（Tonghui）官方资料整理，供选型参考；实际以出厂说明书与检定报告为准。
